美国智库科技与治国方略中心（CTS）近日发布报告称，截至2026年第一季，中国晶圆厂累计进口343台阿斯麦（ASML）浸没式深紫外（DUV）光刻机，其中多数可用于生产先进AI芯片。报告建议美国及盟友全面禁止向中国出口相关设备，并收紧备件及维修服务。
报告估计，2012年至2026年第一季，中资晶圆厂进口的343台设备中，约270台为NXT:1980i，另有28台NXT:2050i及NXT:2100i，其余为较旧机型。2024年和2025年，中国晶圆厂分别进口约90台和89台NXT:1980i，两年采购金额超过130亿美元。
报告称，NXT:1980i虽非最先进型号，但可用于生产华为昇腾系列AI芯片所需的7纳米晶圆，以及部分高带宽内存。荷兰近年来持续收紧对华DUV出口许可，但部分设备仍可逐案获准出口。
报告作者认为，现行许可制度存在漏洞，设备可能通过升级生产线、转移设备或半成品等方式被用于先进芯片生产，因此主张全面禁止相关设备对华出口。